gototopgototop
top
logo

Поиск по сайту


Главная Спектрометры и системы Эллипсометрическая система SpecEl-2000
Эллипсометрическая система SpecEl-2000

Эллипсометрическая система Ocean Optics SpecElЭллипсометр SpecEl-2000 позволяет измерять поляризованный свет, отраженный от поверхности подложки для определения толщины и показателя преломления материала в зависимости от длины волны. Управление системой SpecEl-2000 осуществляется с помощью ПК, а интуитивно-понятное программное обеспечение позволяет выполнить измерение нажатием одной кнопки.

С помощью настольной системы SpecEl-2000 можно проводить измерения многослойных полупрозрачных образцов, таких как плоские подложки, или стеклянные пластины.


Высокоточная система "все в одном"

Система SpecEl оснащена встроенным источником излучения, спектрометрическим модулем и двумя поляризаторами, зафиксированными под углом 70°. С помощью системы SpecEl можно детектировать одиночный слой толщиной от 0.1 нм до 10 мкм. Кроме того, она может определить показатель преломления до 0,005°.


Возможности

  • Точность определения толщины пленки до 1.0 нм
  • Разрешение до 0.1 нм
  • Измерение многослойной структуры, до 25 слоев
  • Толщина одиночного слоя до 10 мкм
  • Спектральный диапазон от 300 до 1000 нм
  • Стандартный размер пятна 0.4 х 1.2 мм
  • Идеально подходит для плоских, полупрозрачных образцов, таких как подложки, стекло, пленки и фольга
  • Дополнительные аксессуары: 3D-позиционирование, подложки для сравнения и другие аксессуары...
  • Возможность создания сценариев экспериментов


Программное обеспечение SpecEl

С помощью программного обеспечения SpecEl Вы можете настроить и сохранить методы проведения эксперимента, а затем выбрать необходимый "сценарий" для его быстрого выполнения.

Программное обеспечение SpecEl

На приведенном снимке экрана программы SpecEl продемонстрированы значения коэффициентов Psi и Delta, вычисленные для толщины слоя, показателя преломления и поглощения.


Технические характеристики

Габаритные размеры:52 х 33 х 24 см
Толщина покрытия:
1 - 10 мкм для одиночного прозрачного покрытия
Разрешение:0.1 нм по толщине, 0.005% по коэффициенту преломления
Значения n и k:рассчитываются для всего спектрального диапазона
Математические модели:Широкий выбор вариантов, включая постоянный коэффициент преломления, гармонический осциллятор и импортированные диэлектрические функции
Время анализа:
7 - 13 с (минимально)
Размер образца:до 150 мм в диаметре (стандартно)
до 300 мм в диаметре (при использовании расширенного предметного столика)
Толщина образца:5 мм (максимально)
Спектральный диапазон:300-1000 нм (модель SPECEL-2000-UV-VIS-NIR)
400-1000 нм (модель SPECEL-2000-VIS-NIR)
Оптическое разрешение:1.0 нм FWHM
Диаметр пучка:400-1200 мкм
Угол падения света:70°
Механические допуски:+/- 1.5 мм по высоте, +/- 1.0° по углу наклона
Опорное сравнение:

не применяется

Программное обеспечениеПО для MS Windows 7/XP 32 бита (заказывается отдельно)


Информация для заказа

Эллипсометрические системы:

Код товараОписание
SPECEL-2000-UV-VIS-NIR
Эллипсометр SpecEl для диапазона 300-1000 нм
SPECEL-2000-VIS-NIR
Эллипсометр SpecEl для диапазона 400-1000 нм


Программное обеспечение:

Код товараОписание
SPECEL-ELLICALC
ПО для для MS Windows 7/XP (32 бита), позволяет измерять толщину, коэффициенты n и k, создавать сценарии экспериментов
SCOUT-FULLVERSION
Программа моделирования спектров для Windows 7/XP (32 бита). Вычисляет коэффициенты отражения, пропускания, поглощения или спектров эллипсометрии и позволяет применить Вашу модель к измеренным спектрам с ручным, графическим,или автоматическим подбором параметров. Управление программным обеспечением SCOUT можно осуществлять с помощью контроллера OLE автоматизации.
SPECEL-MAPPING
Дополнительный программный модуль (используется с ПО SPECEL-ELLICALC). Обеспечивает полное программное управление предметными столиками 150 мм и 300 мм


Дополнительные аксессуары:

Код товараОписание
MAPPING-6-INCH-SE*
Предметный стол с позиционированием по осям XY, 150 х 150 мм, полностью автоматический с вакуумным патроном, 2 мотора, система управления с интегрированным 2-осевым ЧПУ, интерфейс RS-232
MAPPING-12-INCH-SE*
Предметный стол с позиционированием по осям XYZ, 300 х 300 мм, полностью автоматический с вакуумным патроном, 2 мотора, система управления с интегрированным 3-осевым ЧПУ, интерфейс RS-232
STEP-WAFER
Калибровочная подложка Si-SiO2, 5 шагов от 0 до 500 нм, диаметр 100 мм
STEP-WAFER-600-1100
Калибровочная подложка Si-SiO2, 5 шагов от 600 до 1100 нм, диаметр 100 мм

* Предметные столики могут быть заказаны только с системой SpecEl.


Дополнительная информация

- Руководство пользователя (англ., *.pdf)
- Руководство по замене лампы (англ., *.pdf)

Пример настройки и использования системы SpecEl:


 

Голосование

Что Вы знаете о продукции Ocean Optics:

(396 голосов)

(230)
(87)
(60)
(19)
Спасибо за Ваш голос!

 
Задайте вопрос нашим специалистам, используя форму, или позвоните по телефону +7 (812) 920 40 33

bottom

Copyright © 2011-2017. E-Mail: info@oceanoptics.ru, Тел.: +7 (812) 920 40 33. Все права защищены.
При копировании материалов с сайта ссылка обязательна.