Оптические свойства тонких пленок возникают из-за эффектов отражения и интерференции. Метрологическая система для рефлектометрии тонких пленок NanoCalc позволяет анализировать оптические слои толщиной от <10 нм до ~250 мкм. с разрешением до 0.1 нм. В зависимости от выбора программного обеспечения, вы можете анализировать однослойные или многослойные пленки менее чем за одну секунду, а также можете измерять толщину и удельный съем полупроводниковых пленок, нецарапающихся, твердых и антибликовых покрытий.
Преимущества системы NanoCalc - Возможность анализа однослойных и многослойных покрытий
- Разрешение до 0.1 нм
- Анализ покрытий в реальном времени на рабочем месте
- Обширная база данных материалов
Принцип действия Два наиболее распространенных способа измерения характеристик тонких покрытий - это измерение коэффициентов отражения/пропускания и эллипсометрия. В системе NanoCalc используется метод отражения и измерения количества света, отраженного от тонкого покрытия на различных длинах волн, падающего по нормали к поверхности образца.
Поиск по величине n и k Анализируемое покрытие может содержать до 10 различных слоев. Слои и подложки могут быть металлическими, диэлектрическими, аморфными или представлять собой кристаллические полупроводники. Программное обеспечение NanoCalc включает в себя обширную библиотеку значений n и k для наиболее распространенных материалов. Вы можете самостоятельно редактировать записи библиотеки, или добавлять новые. Кроме того, вы можете определить типы материалов по формулам уравнений или дисперсии.
Область применения Рефлектометрические системы NanoCalc для тонких пленок идеально подходят для локального измерения удельного съема материалов, а также для определения толщины оксидированных, SiNx, фоторезистивных и других полупроводниковых пленок. Системы NanoCalc также позволяют измерять антибликовые и нецарапающиеся покрытия, необработанные слои на подложках, таких как сталь, алюминий, латунь, медь, керамика и пластмассы. Также среди областей применения: - Измерение пропускания и отражения неотражающих и жестких покрытий
- Анализ медицинских покрытий и надувных шариков катетеров
- Тестирование прочности и изношенности покрытий
- Измерение толщины утоненных силиконовых дисков
- Определение фоторезистивных слоев защитных маск
- Анализ погодоустойчивых и грязеустойчивых покрытий (эффект Лотоса)
- Измерение покрытий внутри контейнеров для напитков
- Измерение воздушных зазоров
- Анализ покрытий оптических дисков
Выбор программного обеспечения Каждая метрологическая система NANOCALC требует наличия установленного программного обеспечения NANOCALC-1, или NANOCALC-10-N. Также для заказа доступны дополнительные модули, позволяющие осуществлять функции симуляции спектра, позиционирования и внешней синхронизации.
Технические характеристики Модель: | NANOCALC-VIS
| NANOCALC-XR
| NANOCALC-DUV
| Спектральный диапазон: | 400-850 нм | 250-1050 нм | 190-1100 нм | Измеряемая толщина пленки: | 50 нм - 100 мкм | 10 нм - 100 мкм | 1 нм - 100 мкм | Оптическое разрешение: | 0.1 нм | Повторяемость: | 0.3 нм | 0.3 нм
| 0.3 нм
| Угол падения излучения: | 90º
| Количество слоев: | до 10 | Показатель преломления: | да | Тестируемые материалы: | Прозрачные, или полупрозрачные покрытия
| Необходимость в опорном сравнении: | да (непокрытая подложка)
| Режимы измерения: | Отражение и пропускание
| Поддержка необработанных покрытий: | да | Скорость измерения: | от 100 мс до 1 с
| Измерение в реальном времени: | да | Рабочее расстояние (высота): | стандартное 1.5 - 3 мм до 50 мм (с помощью коллиматора COL-UV-6.35) | Размер пятна: | 200 мкм / 400 мкм (стандартно) 100 мкм (по запросу) | Микрофокус: | да (при использовании микроскопа, по запросу) | Визуализация: | да (при использовании микроскопа, по запросу)
| Возможность позиционирования: | да (с помощью координатного столика, по запросу)
| Поддержка измерений в вакууме: | да | Подключение к ПК: | USB 2.0 | Количество спектрометрических модулей: | 1 | 1 | 1 | ПО для управления и обработки данных: | NANOCALC (не входит в комплект поставки) |
Модель:
| NANOCALC-NIR
| NANOCALC-COMBI
| NANOCALC-STS
| Спектральный диапазон:
| 900-1700 нм
| 250-1700 (2200) нм
| UV / VIS / NIR
| Измеряемая толщина пленки:
| 100 нм - 250 мкм
| 10 нм - 250 мкм
| 50 нм - 100 мкм
| Оптическое разрешение:
| 0.1 нм
| Повторяемость:
| 1 нм
| 0.3 нм
| 1 нм
| Угол падения излучения:
| 90º
| Количество слоев:
| до 10
| Показатель преломления:
| да
| Тестируемые материалы:
| Прозрачные, или полупрозрачные покрытия
| Необходимость в опорном сравнении:
| да (непокрытая подложка)
| Режимы измерения:
| Отражение и пропускание
| Поддержка необработанных покрытий:
| да
| Скорость измерения:
| от 100 мс до 1 с
| Измерение в реальном времени:
| да
| Рабочее расстояние (высота):
| стандартное 1.5 - 3 мм до 50 мм (с помощью коллиматора COL-UV-6.35)
| Размер пятна:
| 200 мкм / 400 мкм (стандартно) 100 мкм (по запросу)
| Микрофокус:
| да (при использовании микроскопа, по запросу)
| Визуализация:
| да (при использовании микроскопа, по запросу)
| Возможность позиционирования:
| да (с помощью координатного столика, по запросу)
| Поддержка измерений в вакууме:
| да
| Подключение к ПК:
| USB 2.0
| Количество спектрометрических модулей:
| 1
| 2 | 1 | ПО для управления и обработки данных:
| NANOCALC (не входит в комплект поставки)
|
Информация для заказа Системы NANOCALC: Код товара | Описание | NANOCALC-VIS
| Система для рефлектометрии тонких пленок
| NANOCALC-XR
| Система для рефлектометрии тонких пленок
| NANOCALC-DUV
| Система для рефлектометрии тонких пленок
| NANOCALC-NIR
| Система для рефлектометрии тонких пленок | NANOCALC-COMBI
| Система для рефлектометрии тонких пленок
| NANOCALC-STS
| Система для рефлектометрии тонких пленок
|
Программное обеспечение для систем NANOCALC: Код товара | Описание | NANOCALC-10-N-1 | Программное обеспечение для измерения тонких пленок для ОС Windows 10 (64 bit) и выше. Выполняет измерение, симуляцию и анализ массива, содержащего до 10 слоев. Определение коэффициента преломления возможно с помощью дополнительного программного модуля Cauchy (только для SiO2, SiN, остальные по запросу) | NANOCALC-ONLINE | Программный модуль (требуется NANOCALC-10-N-1), обеспечивающий внешний "On-line" запуск и ручное многоточечное измерение с передачей данных в Excel, функцию статистики, 1D-график. Онлайн-отображение XY-графиков и гистограмм толщины слоя и скорости съема
| NANOCALC-MULTIPOINT
| Программный модуль (требуется NANOCALC-10-N-1), обеспечивающий ручное многоточечное измерение, список результатов с передачей данных в ecxel, CSV-данные, функцию статистики и 1D-график. Измерение по щелчку мыши, нажатию клавиши на клавиатуре или внешнему триггеру
| NANOCALC-REMOTE
| Модуль SDK (требуется NANOCALC-10-N-1) обеспечивает функциональность Active-X и позволяет управлять большинством функций NANOCALC из стороннего программного обеспечения.
|
Дополнительные принадлежности для систем NANOCALC: Код товара | Описание | WAFER-SET
| Набор калибровочных подложек
| COL-UV-6.35
| Коллиматор UV/VIS/NIR (200-2000 нм) с разъемом 6.35 мм |
Дополнительная информация Дополнительную информацию по системам NanoCalс Вы можете найти на сайте интегратора KaPaTek.
|