gototopgototop
top
logo

Поиск по сайту


Главная Спектрометры и системы Система для мониторинга плазмы PlasCalc
Система для мониторинга плазмы PlasCalc

Система для мониторинга плазмы PlasCalc

Система PlasCalc снята с производства!

Для заказа доступна более функциональная многоканальная специализированная система для анализа плазмы серии Emicon!

Более подробную информацию Вы можете получить у наших технических специалистов по телефону +7 (812) 920 40 33, отправив запрос на электронную почту Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript , или перейти по ссылке.


Система мониторинга PlasCalc способна в реальном времени измерять излучения плазмы в диапазоне 200-1100 нм всего за 3 миллисекунды. Модель PlasCalc представляет собой передовую систему для контроля технологических процессов и сочетает в себе сложные алгоритмы сбора и обработки данных.


Возможности

  • оптическое разрешение 1.5 нм (FWHM)
  • спектральный диапазон 200-1100 нм
  • быстрое создание методики эксперимента


Редактор сценариев

Программное обеспечение PLASCALC-SOFTWARE позволяет быстро создавать эффективные сценарии для автоматизации обработки данных, а также легко объединять несколько сценариев для создания комплексного метода реагирования системы во время мониторинга самых сложных плазменных процессов, таких как измерение налета на пленках, контроль плазменного травления, проверка чистоты поверхностей и состояния плазменных камер, мониторинг загрязнений и явлений разрядов.


Инструменты для диагностики плазмы

Программное обеспечение PLASCALC-SOFTWARE имеет встроенный редактор сценариев и предоставляет легкий доступ к полному спектру математических и алгоритмических функций.

Дополнительная библиотека длин волн излучения SPECLINE обеспечивает идентификацию типа, в то время как редактор длин волн позволяет оптимизировать отношение сигнала к шуму. Оконный интерфейс программного обеспечения позволяет одновременно отображать реальный спектр и всю информация по управлению технологическими процессами.

SPECLINE - это программное обеспечение для спектроскопии, астрофизики, анализа плазменных процессов. С его помощью можно легко оценить полученные спектральные данные, например, осуществить поиск конкретных линий в спектрах, выполнить идентификацию неизвестных пиков, определить атомные линии и молекулярные полосы, или сравнить спектральные данные из разных измерений. SPECLINE почти мгновенно обнаруживает пики линий и полос с помощью нескольких мощных фильтрующих функций. В комплект SPECLINE включена обширная библиотека атомов и молекул.


Примеры использования

  • Плазменное травление
  • Контроль состояния плазменных камер
  • Планаризация поликремниевых покрытий
  • Применение защитных покрытий
  • Аномальные явления в ходе процессов
  • Оптимизация процессов
  • Процессы по очистке поверхностей


Технические характеристики

Габаритные размеры:520 x 330 x 240 мм
Вес:3.9 кг
Спектральный диапазон:200 - 1100 нм
Разрешение АЦП:14 разрядов
Оптическое разрешение:1.5 нм (FWHM)
Волоконно-оптический разъем:SMA-905
Энергопотребление:12 В, 1.25 А (блок питания в комплекте)
Диаметр оптического волокна:400 мкм (кабель приобретается отдельно)
Цифровые входы/выходы:8 шт, TTL
Аналоговые выходы:4 шт, 0 - 10 В
Программное обеспечение:

-Основное ПО PLASCALC-SOFTWARE для Windows 7/XP (32 бита)
(приобретается отдельно)

- Дополнительное ПО SPECLINE для анализа атомных эмиссионных линий для Windows 7/XP (32 бита)
(приобретается отдельно)


Информация для заказа

Код товараОписание
PLASCALC-2000-UV-VIS-NIR
Система мониторинга плазмы
PLASCALC-SOFTWARE
Базовое программное обеспечение для управления системой PLASCALC
SPECLINEПрограммное обеспечение для анализа атомных эмиссионных линий


 

Голосование

Что Вы знаете о продукции Ocean Optics:

(400 голосов)

(232)
(88)
(61)
(19)
Спасибо за Ваш голос!

 
Задайте вопрос нашим специалистам, используя форму, или позвоните по телефону +7 (812) 920 40 33

bottom

Copyright © 2011-2017. E-Mail: info@oceanoptics.ru, Тел.: +7 (812) 920 40 33. Все права защищены.
При копировании материалов с сайта ссылка обязательна.